中國光刻機22納米技術獲重大突破 - 上海肖晃納米科技有限公司

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中國光刻機22納米技術獲重大突破

中國光刻機22納米技術獲重大突破全球僅英特爾有量產

中國的22納米技術——4年前，這會被看做是天方夜譚。然而，中科院微電子所集成電路先導工藝研發中心團隊實現重大突破，讓這一夢想成真。到目前為止，全球也只有英特爾公司在22納米技術代實現了大規模生產

注:目前世界最先進實用化光刻機納米技術----16納米技術美國的.正在研制大約12納米技術.中國實用22納米,跨越研12納米,難度很大.

光刻機是中國中芯半導體,臺灣臺積電,韓國三星等半導體晶圓代工大廠的核心設備.由于先進光刻機技術主要在歐美日手上